Realizzazione di prototipi del Modello Esagonale in silicio della CryoAC, all'interno del progetto ESA ATHENA.
- Categoria di progetto Altri progetti di ricerca nazionale
- Durata dal 11.02.2021 al 31.12.2021
- Laboratorio/Centro di ricerca Istituto TeCIP - Telecomunicazioni, Informatica e Fotonica InReTe Laboratory
- Finanziamento atteso €57 500
- Costo complessivo €57 500
- Principal investigator Università degli Studi di Genova - Dipartimento di Fisica
- Responsabili scientifici Antonella Bogoni
- Ruolo della Scuola Partner
- Sponsor Università degli Studi di Genova
Scopo del progetto è la realizzazione di prototipi del Modello Esagonale (ME) in silicio della CryoAC di ATHENA, nelle sue due configurazioni: ME-s a 4pixel e ME-m monolitico.
Presso il centro INPHOTEC della Scuola Sant’Anna verranno affinati i processi di Deep Reactive Ion Etching (DRIE), in particolare riguardo agli step di “landing” e di etching profondo. Lo sviluppo richiede anche la progettazione e la produzione di una maschera ottica acquistata dalla Scuola, che ne realizzerà le litografie e che verrà realizzata in collaborazione con Dipartimento di Fisica dell’Università di Genova.
Contemporaneamente verranno progettati e sviluppati processi di assemblaggio, in particolare relativamente al fissaggio del Modello Esagonale nella struttura di back-end in rame dorato ME-be, con resina Stycast e bonding funzionali con filo d’alluminio e filo d’oro.